大连1260液相设备-科鲁斯特测控公司-1260液相设备厂家

1、进样量范围：

0.1 – 900μL，增量为 0.1μL （推荐增量为 1μL）

使用多次抽取升级工具包时（需要改动硬件）达 1800μL

2、精度：

5-2000 μL 内，峰面积精度一般 ＜ 0.5 % RSD

2000 – 5000 μL内，峰面积精度一般 ＜ 1 % RSD

1 – 5 μL内，峰面积精度一般 ＜ 3 % RSD

可变体积

3、样品黏度范围：0.2 ~ 5 cp

4、样品容量：

1 个样品盘上 100 ×2 ml 样品瓶，大连1260液相设备，

1/2 盘上 40 ×2 ml 样品瓶

1/2 盘上 15 ×6 ml （安捷伦样品瓶）

与其他外延方法相比；它具有如下的优点：1）生长设备比较简单，；2）有较高的生长速率；3）掺杂剂选择范围广；4）晶体完整性好，外延层位错密度较衬底低；5）晶体纯度高，1260液相设备怎么样，生长系统中没有和强腐蚀性的原料及产物，操作安全、简便等。LPE的不足在于，当外延层与衬底晶格常数差大于1%时，1260液相设备厂家，不能进行很好的生长。其次，1260液相设备哪家好，由于分凝系数的不同，除生长很薄的外延层外，在生长方向上控制掺杂和多元化合物组合均匀性遇到困难。再者LPE的外延层表面一般不如气相外延好。

低温硅液相外延：低温外延是硅器件制造的总体趋势.在硅LPE中，由于新的溶剂(主要是Ag，Au及其合金)不断发现，大大降低了硅LPE的温度.金对硅的溶解度就是在400℃也能达到15at.%以上，Ag在845℃也有11at.%的Si含量.又因金在硅中的固溶度在800℃才达到影响光生载流子寿命的阈值，而当生长温度低于500℃时，Au在硅中的固溶度不到1012cm-3。

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